A self-cleaning apparatus for use in a chemical mechanical polishing tool. The apparatus includes a slurry-dispensing arm with a first end suspended over a polishing pad, and a second end for mounting to the chemical mechanical polishing tool. A slurry-dispensing nozzle is positioned under the first end for dispensing a polishing slurry against the polishing pad. The first end has a compound slanted top surface, a front face and adjoining side surfaces. The compound slanted top surface forms a longitudinal peak slanting from center to both sides and from the back end to the front face. The top surface of the first end has a liquid distribution manifold that is mounted distally from the front face and has a plurality of nozzles directed to spray deionized water to wash away slurry splatter from surfaces of the first end of the slurry dispensing arm during the water polishing cycle.

Un aparato autolimpiador para el uso en una herramienta que pule mecánica química. El aparato incluye un brazo mezcla-que dispensa con un excedente suspendido primer extremo un cojín que pule, y un segundo extremo para montar a la herramienta que pule mecánica química. Un inyector mezcla-que dispensa se coloca bajo primer extremo para dispensar una mezcla que pule contra el cojín que pule. El primer extremo tiene una superficie superior inclinada compuesto, una cara delantera y superficies laterales colindantes. La superficie superior inclinada compuesta forma un pico longitudinal que se inclina de centro a ambos lados y del extremo trasero a la cara delantera. La superficie superior del primer extremo tiene un múltiple líquido de la distribución que se monte distally de la cara delantera y tiene una pluralidad de inyectores ordenados al agua desionizada aerosol para lavar lejos la salpicadura de la mezcla de superficies del primer extremo del brazo que dispensa de la mezcla durante el ciclo que pule del agua.