Described are systems and methods for measuring the size uniformity of circuit features defined by the critical dimension of an integrated-circuit fabrication process. An integrated circuit is configured to include a number of oscillators, each occupying a region of the integrated circuit. Each oscillator oscillates at a frequency that depends on the critical dimension of features in the region in which it is formed. Consequently, the critical dimensions of regions across the surface of the integrated circuit can be mapped and compared by comparing the oscillation frequencies of identical oscillators formed in various regions of the integrated circuit. In programmable logic devices, oscillators can be implemented using programmable logic resources. In other embodiments, small, simple oscillators can be placed at various locations on the integrated circuit.

Décrits sont des systèmes et les méthodes pour mesurer l'uniformité de taille des dispositifs de circuit définis par la dimension critique d'un processus de fabrication de circuit intégré. Un circuit intégré est configuré pour inclure un certain nombre d'oscillateurs, chacun qui occupe une région du circuit intégré. Chaque oscillateur oscille à une fréquence qui dépend de la dimension critique des dispositifs dans la région dans laquelle il est formé. En conséquence, les dimensions critiques des régions à travers la surface du circuit intégré peuvent être tracées et comparées en comparant les fréquences d'oscillation des oscillateurs identiques formés dans diverses régions du circuit intégré. Dans des dispositifs de logique programmables, des oscillateurs peuvent être mis en application en utilisant les ressources programmables de logique. Dans d'autres incorporations, de petits, simples oscillateurs peuvent être placés à de divers endroits sur le circuit intégré.