A method for producing an optical quartz glass for use in excimer lasers, comprising a step of forming a porous silica preform by depositing silica in a soot-like form formed by flame hydrolysis of a high-purity volatile silicon compound, followed by a step of vitrifying said porous silica preform into transparent glass in an atmosphere containing water vapor and hydrogen, and a vertical type heating furnace for carrying out the production method therein.

Um método para produzir um vidro ótico de quartzo para o uso em lasers do excimer, compreendendo uma etapa de dar forma a uma pré-forma porosa do silicone depositando o silicone em a fuligem-como o formulário dado forma pelo hydrolysis da flama de um composto temporário high-purity do silicone, seguiu por uma etapa da pré-forma porosa dita vitrifying do silicone no vidro transparente em uma atmosfera que contem o vapor e o hidrogênio de água, e por um tipo vertical fornalha do heating para realizar o método de produção nisso.