A substrate transfer system employs a robot hand which is composed such that a sum length of a first arm and a third arm equal a length of a second arm, and a length of the first arm becomes longer than a length of the third arm. A ratio between arm lengths is determined such that a distal end portion of the first arm, a distal end portion of the second arm, a distal end portion of the third arm, and a distal end portion of the workpiece held by the end effector are inscribed in a track circle around a rotational axis of the first arm as a center. The ratio of the first, second and third arm lengths is approximately 1:( 5+1)/2:( 5-1)/2. This optimized ratio of the arm lengths allows the arm rotational radius to be smaller than the conventional value, and makes it possible to achieve a longer transfer distance in an equal installation area.

Een systeem van de substraatoverdracht wendt een robothand aan die dusdanig dat een somlengte van een eerste wapen en een derde wapengelijke samengesteld is een lengte van een tweede wapen, en een lengte van het eerste wapen langer worden dan een lengte van het derde wapen. Een verhouding tussen wapenlengten wordt bepaald dusdanig dat een distaal eindgedeelte van het eerste wapen, een distaal eindgedeelte van het tweede wapen, een distaal eindgedeelte van het derde wapen, en een distaal eindgedeelte van het werkstuk dat door de eindeffector in een spoorcirkel rond een rotatieas van het eerste wapen als centrum ingeschreven zijn wordt gehouden. De verhouding van de eerste, tweede en derde wapenlengten is ongeveer 1:(5+1)/2:(5-1)/2. Deze geoptimaliseerde verhouding van de wapenlengten staat het wapen toe rotatiestraal om kleiner te zijn dan de conventionele waarde, en maakt het mogelijk om een langere overdrachtafstand op een gelijk installatiegebied te bereiken.