The present invention is directed to a wafer clamping mechanism responsive to fluid pressure to retain wafers on a surface with minimal clamping force. The clamping mechanism houses simple operative elements within a housing proximate the wafer and can utilize existing fluid pressure sources to energize the clamping mechanism. In a first embodiment, the clamping mechanism includes a piston and cylinder to urge a clamping arm against the wafer in response to fluid pressure. In a second embodiment, the clamping mechanism includes a bellows arrangement for urging the clamping finger against the wafer in response to a fluid pressure source. In a third embodiment, the clamping mechanism includes a bladder arrangement wherein a bladder is expanded using fluid pressure to urge the clamping arm against the wafer in response to a fluid pressure source. In a fourth embodiment, the clamping mechanism includes a flexure member attached to a dual bellows arrangement for urging the flexure member against the wafer in response to a vacuum pressure source. In a fifth embodiment, the clamping mechanism includes a bent flexure member attached to a dual bellows arrangement with an internal piston and cylinder for urging the flexure member against the wafer in response to positive pressure source.

Die anwesende Erfindung wird auf eine Oblate verwiesen, welche die Einheit festklemmt, die flüssigem Druck, Oblaten auf einer Oberfläche mit minimaler festklemmender Kraft zu behalten entgegenkommend ist. Die festklemmenden einfachen wirksamen Elemente der Einheit Häuser innerhalb eines nächsten Gehäuses die Oblate und können vorhandene Quellen des flüssigen Drucks verwenden, um die festklemmende Einheit anzuziehen. In einer ersten Verkörperung schließt die festklemmende Einheit einen Kolben und einen Zylinder mit ein, um einen festklemmenden Arm gegen die Oblate in Erwiderung auf flüssigen Druck zu drängen. In einer zweiten Verkörperung schließt die festklemmende Einheit eine Balganordnung für das Drängen des festklemmenden Fingers gegen die Oblate in Erwiderung auf eine Quelle des flüssigen Drucks ein. In einer dritten Verkörperung schließt die festklemmende Einheit eine Blase Anordnung ein, worin eine Blase mit flüssigem Druck, den festklemmenden Arm gegen die Oblate in Erwiderung auf eine Quelle des flüssigen Drucks zu drängen erweitert wird. In einer vierten Verkörperung schließt die festklemmende Einheit ein Biegungmitglied ein, das zu einer Doppelbalganordnung für das Drängen des Biegungmitgliedes gegen die Oblate in Erwiderung auf eine Vakuumdruckquelle angebracht wird. In einer fünften Verkörperung schließt die festklemmende Einheit ein verbogenes Biegungmitglied ein, das zu einer Doppelbalganordnung mit einem internen Kolben und einem Zylinder für das Drängen des Biegungmitgliedes gegen die Oblate in Erwiderung auf positive Druckquelle angebracht wird.