Embodiments of the invention generally provide a processing system for removing contaminant particles from substrates. The processing system generally includes at least one processing enclosure having a particle removal assembly positioned therein. The particle removal assembly generally includes a substrate support member, a broadband actuator in communication with the substrate support member, and an air knife assembly positioned proximate the substrate support member. The air knife assembly is generally configured to generate a high pressure laminar flow of gas across the surface of the substrate. The processing system further includes a substrate transfer enclosure in communication with each of the at least one processing enclosures, at least one substrate supply source in communication with the substrate transfer chamber, and at least one transfer robot positioned in the substrate transfer enclosure, the transfer robot being configured to transfer substrates between the at least one substrate supply source and the at least one processing enclosure.

As incorporações da invenção fornecem geralmente um sistema processando removendo as partículas do contaminador das carcaças. O sistema processando inclui geralmente ao menos um cerco processando que tem um conjunto da remoção da partícula posicionado nisso. O conjunto da remoção da partícula inclui geralmente um membro da sustentação da carcaça, um atuador broadband em uma comunicação com o membro da sustentação da carcaça, e um proximate posicionado conjunto da faca de ar o membro da sustentação da carcaça. O conjunto da faca de ar é configurarado geralmente para gerar um fluxo laminar de alta pressão do gás através da superfície da carcaça. O sistema processando inclui mais mais um cerco de transferência da carcaça em uma comunicação com o cada um dos cercos ao menos um processando, ao menos uma fonte da fonte da carcaça em uma comunicação com a câmara de transferência da carcaça, e ao menos um robô de transferência posicionado no cerco de transferência da carcaça, o robô de transferência que está sendo configurarado para transferir carcaças entre a ao menos uma fonte da fonte da carcaça e o ao menos um cerco processando.