A system for holding substrates in microlithography to prevent flatness errors. Deflections cause by gravity bend the surface of the substrate. Spacer elements are provided between the table and the substrate to hold the substrate in a horizontal position. The rim of the substrate is sealed, so that a chamber is formed containing air. Different air pressure can be provided on different sides of the substrate in order to prevent deflection.

Ένα σύστημα για τα υποστρώματα στο microlithography για να αποτρέψει τα λάθη λειότητας. Η αιτία εκτροπών από τη βαρύτητα κάμπτει την επιφάνεια του υποστρώματος. Τα στοιχεία πλήκτρων διαστήματος παρέχονται μεταξύ του πίνακα και του υποστρώματος για να κρατήσουν το υπόστρωμα σε μια οριζόντια θέση. Το πλαίσιο του υποστρώματος σφραγίζεται, έτσι ώστε μια αίθουσα διαμορφώνεται περιέχοντας τον αέρα. Η διαφορετική πίεση αέρα μπορεί να παρασχεθεί στις διαφορετικές πλευρές του υποστρώματος προκειμένου να αποτραπεί η εκτροπή.