Contact assemblies, electroplating machines with contact assemblies, and methods for making contact assemblies that are used in the fabrication of microelectronic workpieces. The contact assemblies can be wet-contact assemblies or dry-contact assemblies. A contact assembly for use in an electroplating system can comprise a support member and a contact system coupled to the support member. The support member, for example, can be a ring or another structure that has an inner wall defining an opening configured to allow the workpiece to move through the support member along an access path. In one embodiment, the support member is a conductive ring having a plurality of posts depending from the ring that are spaced apart from one another by gaps. The contact system can be coupled to the posts of the support member. The contact system can have a plurality of contact members projecting inwardly into the opening relative to the support member and transversely with respect to the access path. The contact members can comprise electrically conductive biasing elements, such as fingers, that have a contact site and a dielectric coating covering at least a portion of the biasing elements. The contact members can also have a raised feature configured to engage the seed-layer on the workpiece for conducting the current to the seed-layer.

Contate os conjuntos, electroplating máquinas com conjuntos do contato, e métodos para fazer os conjuntos do contato que são usados na fabricação de workpieces microelectronic. Os conjuntos do contato podem ser molhado-contatam os conjuntos ou seco-contatam os conjuntos. Um conjunto do contato para o uso em um sistema electroplating pode compreender um membro da sustentação e um sistema do contato acoplados ao membro da sustentação. O membro da sustentação, para o exemplo, pode ser um anel ou uma outra estrutura que tenha uma parede interna definir uma abertura configurarada para permitir que o workpiece se mova através do membro da sustentação ao longo de um trajeto de acesso. Em uma incorporação, o membro da sustentação é um anel condutor que tem um plurality dos bornes dependendo do anel que são espaçados aparte de um outro por aberturas. O sistema do contato pode ser acoplado aos bornes do membro da sustentação. O sistema do contato pode ter um plurality dos membros do contato que projetam-se interna na abertura relativo ao membro da sustentação e transversalmente com respeito ao trajeto de acesso. Os membros do contato podem compreender eletricamente elementos inclinando condutores, tais como os dedos, que têm um local do contato e revestir dieléctrico cobrindo ao menos uma parcela dos elementos inclinando. Os membros do contato podem também ter uma característica levantada configurarada para acoplar a semente-camada no workpiece para conduzir a corrente à semente-camada.