A machine for processing semiconductor wafers and similar articles has an ozone remover connected to a processing chamber. The ozone remover has a light chamber surrounded by reflectors. Ozone and other processing gases and vapors flow out of the processing chamber and into the light chamber. Ultraviolet lights in the ozone remover flood the light chamber with ultraviolet light, converting ozone into oxygen. The amount of ozone released into the environment is reduced. A recirculation line receives the gases and vapors flowing out of the ozone remover. Oxygen and any remaining ozone are separated from other gas and vapor components and are recycled back to an ozone generator, to increase the ozone generator efficiency in supplying the machine with ozone.

Μια μηχανή για τις γκοφρέτες ημιαγωγών και τα παρόμοια άρθρα συνδέει remover όζοντος με μια αίθουσα επεξεργασίας. Remover όζοντος περιβάλλει μια ελαφριά αίθουσα από τους ανακλαστήρες. Το όζον και άλλοι αέρια και ατμοί επεξεργασίας ρέουν από την αίθουσα επεξεργασίας και στην ελαφριά αίθουσα. Υπεριώδη φως στη remover όζοντος πλημμύρα η ελαφριά αίθουσα με το υπεριώδες φως, μετα:τρέπω το όζον στο οξυγόνο. Το ποσό όζοντος που απελευθερώνεται στο περιβάλλον μειώνεται. Μια γραμμή επανακυκλοφορίας λαμβάνει τα αέρια και τους ατμούς που ρέουν έξω remover όζοντος. Το οξυγόνο και οποιοδήποτε υπόλοιπο όζον είναι χωρισμένα από άλλο αέριο και τα τμήματα ατμού και ανακυκλώνονται πίσω σε μια γεννήτρια όζοντος, για να αυξήσουν την αποδοτικότητα γεννητριών όζοντος στην παροχή της μηχανής το όζον.