A microelectromechanical system (MEMS) switch having a high-resonance-frequency beam is disclosed. The MEMS switch includes first and second spaced apart electrical contacts, and an actuating electrode. The beam is adapted to establish contact between the electrodes via electrostatic deflection of the beam as induced by the actuating electrode. The beam may have a cantilever or bridge structure, and may be hollow or otherwise shaped to have a high resonant frequency. Methods of forming the high-speed MEMS switch are also disclosed.

Ένας microelectromechanical διακόπτης συστημάτων (MEMS) που έχει μια ακτίνα υψηλός-αντήχηση-συχνότητας αποκαλύπτεται. Ο διακόπτης MEMS περιλαμβάνει πρώτα και δευτερευόντως χωρισμένες κατά διαστήματα χώρια ηλεκτρικές επαφές, και ένα ωθώντας ηλεκτρόδιο. Η ακτίνα προσαρμόζεται για να καθιερώσει την επαφή μεταξύ των ηλεκτροδίων μέσω της ηλεκτροστατικής εκτροπής της ακτίνας όπως προκαλείται από το ωθώντας ηλεκτρόδιο. Η ακτίνα μπορεί να έχει μια cantilever ή γεφυρών δομή, και μπορεί να είναι κοίλη ή ειδάλλως διαμορφωμένη για να έχει μια υψηλή ηχηρή συχνότητα. Μέθοδος το μεγάλο MEMS διακόπτη αποκαλύπτονται επίσης.