A measurement tool connects to an automatic inspection machine for measuring microscopic characteristics of features on a photographic mask. Widths of densely packed lines are measured for features having sizes of less than about the wavelength of the examining radiation. A simulated intensity profile is subtracted from the actual measured intensity profile to obtain an error profile. The error profile provides edge position corrections which adjust the originally estimated edge positions. A new, simulated intensity profile is created and the process is repeated until the error profile is deemed acceptable. The line width is measured by measuring between the estimated edge positions. The opacity of a feature is determined and used for correcting dimension measurements. A formula determines the opacity based upon the contrast, the measured dimension and the single data point. Width or height of an irregular feature is calculated accurately. Dimension of the feature is determined using the peak width data and the peak width standard deviation.

Un attrezzo di misura collega ad una macchina automatica di controllo per la misurazione delle caratteristiche microscopiche delle caratteristiche su una mascherina fotografica. Le larghezze delle linee densamente imballate sono misurate per le caratteristiche che hanno formati di di meno che circa la lunghezza d'onda della radiazione esaminante. Un profilo simulato di intensità è sottratto dal profilo misurato reale di intensità per ottenere un profilo di errore. Il profilo di errore fornisce le correzioni di posizione del bordo che registrano le posizioni originalmente valutate del bordo. Un nuovo, profilo simulato di intensità è generato ed il processo è ripetuto fino a ritenere il profilo di errore accettabile. La linea larghezza è misurata misurando fra le posizioni valutate del bordo. L'opacità di una caratteristica è determinata ed usata per le misure di dimensione correggente. Una formula determina l'opacità basata sul contrasto, sulla dimensione misurata e sul singolo punto di riferimenti. La larghezza o l'altezza di una caratteristica irregolare è calcolata esattamente. La dimensione della caratteristica è determinata usando i dati peak di larghezza e lo scarto quadratico medio di larghezza peak.