A semiconductor wafer processing system has a carrier including wafer slots. A process robot engages the carrier and installs the carrier into a rotor within a process chamber. The rotor has a tapered or stepped inside surface matching a tapered or stepped outside surface of the carrier. Wafer retainers on the carrier pivot to better secure wafers within the carrier.

Een de verwerkingssysteem van het halfgeleiderwafeltje heeft een drager met inbegrip van wafeltjegroeven. Een procesrobot neemt de drager in dienst en installeert de drager in een rotor binnen een proceskamer. De rotor heeft een verminderde of gestapte binnenoppervlakte die verminderd of gestapt buiten oppervlakte van de drager aanpassen. De pallen van het wafeltje op de drager draaien om wafeltjes binnen de drager beter te beveiligen.