Generally, an end effector assembly for a substrate transfer robot is provided. In one embodiment, an end effector assembly for a substrate transfer robot includes an end effector having a plurality of metallic pads disposed thereon. A polymer pad is disposed on each metallic pad wherein a ratio of an exposed portion of an upper surface of the metallic pad to a top surface of the polymer pad is at least about 3.5 to 1. In another embodiment, an end effector assembly for a substrate transfer robot includes an end effector having a plurality of polymer pads disposed thereon. Each polymer pad includes a fluoropolymer coating disposed on at least a top surface of the polymer pad. The metallic pad and/or the coating allows the polymer pad to be at least temporarily utilized in applications above its normal operating temperature.

Over het algemeen, wordt een assemblage van de eindeffector voor een robot van de substraatoverdracht verstrekt. In één belichaming, omvat een assemblage van de eindeffector voor een robot van de substraatoverdracht een eindeffector die een meerderheid van metaal daarop geschikte stootkussens heeft. Een polymeerstootkussen wordt geschikt op elk metaalstootkussen waarin een verhouding van een blootgesteld gedeelte van een hogere oppervlakte van het metaalstootkussen aan een hoogste oppervlakte van het polymeerstootkussen minstens ongeveer 3,5 tot 1 is. In een andere belichaming, omvat een assemblage van de eindeffector voor een robot van de substraatoverdracht een eindeffector die een meerderheid van daarop geschikte polymeerstootkussens heeft. Elk polymeerstootkussen omvat een fluoropolymer deklaag die op minstens een hoogste oppervlakte van het polymeerstootkussen wordt geschikt. Het metaalstootkussen en/of de deklaag laten het polymeerstootkussen toe om minstens tijdelijk in toepassingen boven zijn normale werkende temperatuur worden gebruikt.