A prober for measuring electrical characteristics of a semiconductor device includes a contact device having a contactor with a sharp tip provided at a position close above the position of the semiconductor device at which the electrical characteristics are to be measured, a drive device for driving the contact device in the directions of the x-, y- and z-axes on the nm order, an x- and y-axis drive circuit that supplies drive current to the drive device for driving the contact device in the directions of the x- and y-axes, a signal supply device for supplying a signal between the surface of the semiconductor device and the contact device, a detection device for detecting the signal from the supply device and providing an output signal, a z-axis drive control circuit that supplies drive current to the drive device for driving the contact device in the z-axis direction by using the output signal from the detection device as a feedback input signal, a circuit for providing output to the z-axis drive control circuit of a signal that halts the driving of the contact device in the z-axis direction upon detection of an abnormal signal by the detection device, a switch that connects the contact device to the detection device, a controller that supplies signals for driving the contact device in the x-, y- and z-axis directions, preset tunneling current signals for the z-axis drive control circuit and preset voltage signals for variable DC bias voltage of the detection device, acquires and stores x, y and z positional information for the contact device along with voltage, current and potential information from the detection device, and performs image processing on the information, and a display device that displays the information and image information.

Un sondeur pour mesurer des caractéristiques électriques d'un dispositif de semi-conducteur inclut un dispositif de contact ayant un conjoncteur avec un bout pointu fourni à une fin de position au-dessus de la position du dispositif de semi-conducteur auquel les caractéristiques électriques doivent être mesurées, un dispositif d'entraînement pour conduire le dispositif de contact dans les directions du x -, y et haches d'ouvrage sur l'ordre de nm, un x et le circuit d'entraînement d'axe des ordonnées qui fournit le courant d'entraînement au dispositif d'entraînement pour conduire le dispositif de contact dans les directions du x et des axes des ordonnées, un dispositif d'approvisionnement de signal pour fournir un signal entre la surface du dispositif de semi-conducteur et du dispositif de contact, un dispositif de détection pour détecter le signal du dispositif d'approvisionnement et fournissant un signal de sortie, un circuit de commande d'entraînement d'z-axe qui fournit le courant d'entraînement au dispositif d'entraînement pour conduire le dispositif de contact dans la direction d'z-axe en employant le signal de sortie à partir du dispositif de détection comme signal d'entrée de rétroaction, un circuit pour fournir le rendement au circuit de commande d'entraînement d'z-axe d'un signal qui stoppe la conduite du dispositif de contact dans la direction d'z-axe lors de la détection d'un signal anormal par le dispositif de détection, un commutateur qui relie le dispositif de contact au dispositif de détection, un contrôleur qui fournit des signaux pour conduire le dispositif de contact dans le x -, les directions de y et d'z-axe, a préréglé le perçage d'un tunnel les signaux courants pour l'z-axe conduisent le circuit de commande et prérèglent des signaux de tension pour la tension de polarisation variable de C.C du dispositif de détection, acquièrent et stockent l'information de position de x, de y et de z pour le dispositif de contact avec l'information de tension, de courant et de potentiel du dispositif de détection, et exécutent le traitement d'image sur l'information, et un dispositif d'affichage qui montre l'information et l'information d'image.