Disclosed is a semiconductor manufacturing apparatus which includes a chamber having an environment-controlled inside space, a stage disposed in the inside space of the chamber and for holding a substrate to perform a predetermined process to the substrate, a temporary storage for temporarily storing one or more substrates in a local environment being independent from the chamber inside, a robot for conveying a substrate between the stage and the temporary storage, and a controller for controlling the robot so that the substrate is stored into the temporary storage when the environment control of the chamber inside space is suspended.

São divulgados um instrumento do manufacturing do semicondutor que inclua uma câmara que tem um espaço interno ambiente-controlado, um estágio disposto no espaço interno da câmara e para prender uma carcaça para executar um processo predeterminado à carcaça, um armazenamento provisório para temporariamente armazenar um ou mais carcaça em um ambiente local que é independente da câmara para dentro, um robô para fazer saber a uma carcaça entre o estágio e o armazenamento provisório, e um controlador para controlar o robô de modo que a carcaça esteja armazenada no armazenamento provisório quando o controle ambiental da câmara dentro do espaço é suspendido.