A tunable microelectronic capacitor and a tunable microelectronic inductor, each utilizing a micro-actuator fabricated by MEMS technique as a major component in the capacitor, the micro-actuator drives a dielectric plate in between to electrode plates to vary the capacitance. In the inductor, the micro-actuator drives a cantilever beam member made of a magnetic material into an inductor coil for changing the inductance of the coil.

Um capacitor microelectronic ajustável e um indutor microelectronic ajustável, cada um que utiliza um micro-atuador fabricado pela técnica de MEMS como um componente principal no capacitor, o micro-atuador dirigem uma placa dieléctrica dentro no meio às placas do elétrodo para variar a capacidade. No indutor, o micro-atuador dirige um membro cantilever do feixe feito de um material magnético em uma bobina do indutor para mudar a indutância da bobina.