In a laser apparatus, a central wavelength of vacuum ultraviolet laser beams whose bandwidth is narrowed can be maintained at a target wavelength in high precision. This laser apparatus includes a laser oscillator for generating a vacuum ultraviolet laser beam whose bandwidth is narrowed and a reference beam having a spectral distribution of a vacuum ultraviolet band to output both the vacuum ultraviolet laser beam and the reference beam; a wavelength meter for measuring a central wavelength of the vacuum ultraviolet laser beam whose bandwidth is narrowed by using at least one emission light contained in the reference beam as a reference; and a controller for controlling the laser oscillator based upon the central wavelength of the vacuum ultraviolet laser beam whose bandwidth is narrowed, which is measured by the wavelength meter, so as to thereby adjust the central wavelength of the vacuum ultraviolet laser beam whose bandwidth is narrowed to a target wavelength. As a result, this laser apparatus can output the vacuum ultraviolet laser beams whose bandwidth is narrowed and whose central wavelength is maintained at the target wavelength in high precision.

В приборе лазера, центральную длину волны лазерныйа луч вакуума ультрафиолетов ширина полосы частот которых сужана можно поддерживать на длине волны цели в высокой точности. Этот прибор лазера вклюает генератор лазера для производить лазерныйа луч вакуума ультрафиолетов ширина полосы частот сужана и луч справки имея спектральное распределение полосы вакуума ультрафиолетов для того чтобы вывести наружу и лазерныйа луч вакуума ультрафиолетов и луч справки; метр длины волны для измерять центральную длину волны лазерныйа луч вакуума ультрафиолетов ширина полосы частот сужана путем использование по крайней мере одна светлой излучения, котор содержат в луче справки как справка; и регулятор для контролировать генератор лазера основанный на центральной длине волны лазерныйа луч вакуума ультрафиолетов ширина полосы частот сужана, которая измерена метром длины волны, таким образом для того чтобы отрегулировать центральную длину волны лазерныйа луч вакуума ультрафиолетов ширина полосы частот которого сужана к длине волны цели. В результате, этот прибор лазера может вывести наружу лазерныйа луч вакуума ультрафиолетов ширина полосы частот которых сужана и длина волны которых центральная поддержана на длине волны цели в высокой точности.