An apparatus for processing a microelectronic workpiece in a
micro-environment is set forth. The apparatus includes a first chamber
member having an interior chamber wall and a second chamber member having
an interior chamber wall. The first and second chamber members are adapted
for relative movement between a loading position in which the first and
second chamber members are distal one another and a processing position in
which the first and second chamber members are proximate one another to
define a processing chamber. At least one workpiece support assembly is
disposed between the first and second chamber members for supporting the
microelectronic workpiece. The workpiece support assembly is operable to
space the workpiece a first distance, x1, from an interior chamber wall of
at least one of the first and second chamber members when the first and
second chamber members are in the loading position and to space the
workpiece a second distance, x2, from the interior chamber wall when the
first and second chamber members are in the processing position, wherein
x1>x2.
Ein Apparat für die Verarbeitung eines Mikroelektronischen Werkstückes in einem Micro-environment wird festgelegt. Der Apparat schließt ein erstes Raummitglied ein, das eine Innenraumwand haben und ein zweites Raummitglied, das eine Innenraumwand hat. Die ersten und zweiten Raummitglieder werden für relative Bewegung zwischen, in der einer Ladenposition die ersten und zweiten Raummitglieder distales anders sind und in der einer angepaßt verarbeitenposition, die ersten und zweiten Raummitglieder nächstes anders sind, zum eines verarbeitenraumes zu definieren. Mindestens wird ein Werkstückauflageblock zwischen den ersten und zweiten Raummitgliedern für das Stützen des Mikroelektronischen Werkstückes abgeschaffen. Der Werkstückauflageblock ist funktionell, das Werkstück ein erster Abstand, x1, von einer Innenraumwand von einem mindestens der ersten und zweiten Raummitglieder zu sperren, wenn die ersten und zweiten Raummitglieder in der Ladenposition und das Werkstück ein zweiter Abstand, x2, von der Innenraumwand zu sperren sind, wenn die ersten und zweiten Raummitglieder in der verarbeitenposition sind, worin x1 x2.
