A lift and rotate assembly for use in a workpiece processing station. The lift and rotate assembly includes a body having a slim profile and pins located on opposite sides for mounting the assembly onto a tool frame. The lift and rotating assembly further includes a rotating mechanism coupling a processing head to the body, and for rotating the process head with respect to the body. The rotating mechanism includes a motor, wherein the motor is located within the processing head and the shaft of the motor is coupled to and rotationally fixed with respect to the body. The lift and rotate assembly further includes a lift mechanism for lifting the process head with respect to the body. A cable assembly within the lift and rotate assembly includes a common cable loop for feeding additional length of cable along both the lift direction and the rotational direction of movement.

Подъем и поворачивает агрегат для пользы в workpiece обрабатывая станцию. Подъем и поворачивает агрегат вклюает тело имея slim профиль и штыри расположенные на противоположных сторонах для устанавливать агрегат на рамку инструмента. Подъем и вращая агрегат более добавочно вклюают вращая механизм соединяя обрабатывая головку к телу, и для поворачивать отростчатую головку по отношению к телу. Вращая механизм вклюает мотор, при котором мотор устроен внутри обрабатывая головка и вал мотора соединен к и rotationally зафиксирован по отношению к телу. Подъем и поворачивает агрегат более добавочно вклюает механизм подъема для поднимать отростчатую головку по отношению к телу. Сборкы кабеля внутри подъем и поворачивает агрегат вклюает общюю петлю кабеля для подавать дополнительная длина кабеля как вдоль направления подъема так и вдоль вращательного направления движения.

 
Web www.patentalert.com

< Reactor for processing a microelectronic workpiece

< Methods for plating semiconductor workpieces using a workpiece-engaging electrode assembly with sealing boot

> Automated semiconductor immersion processing system

> Dual cassette centrifugal processor

~ 00026