A process system for processing semiconductor wafers includes a stocker module, and immersion module, and a process module. A process robot moves on a lateral rail to transfer wavers between the modules. The immersion module is separated from the other modules, to avoid transmission of vibration. Immersion tanks are radially positioned within the immersion module, to provide a compact design. An immersion robot moves batches of wafers on an end effector between the immersion tanks. The end effector may be detachable from the immersion robot, so that the immersion robot can move a second batch of wafers, while the first batch of wafers undergoes an immersion process.

Ένα σύστημα διαδικασίας για τις γκοφρέτες ημιαγωγών περιλαμβάνει μια stocker ενότητα, και την ενότητα βύθισης, και μια ενότητα διαδικασίας. Οι κινήσεις διαδικασίας ρομπότ σε μια πλευρική ράγα στη μεταφορά διστάζουν μεταξύ των ενοτήτων. Η ενότητα βύθισης είναι χωρισμένη από τις άλλες ενότητες, για να αποφύγει τη μετάδοση της δόνησης. Οι δεξαμενές βύθισης τοποθετούνται ακτινωτά μέσα στην ενότητα βύθισης, για να παρέχουν ένα συμπαγές σχέδιο. Ένα ρομπότ βύθισης κινεί τις batch γκοφρετών σε μια συσκευή επίδρασης τελών μεταξύ των δεξαμενών βύθισης. Η συσκευή επίδρασης τελών μπορεί να είναι αποσπάσιμη από το ρομπότ βύθισης, έτσι ώστε το ρομπότ βύθισης μπορεί να κινήσει μια δεύτερη batch γκοφρετών, ενώ η πρώτη batch γκοφρετών υποβάλλεται σε μια διαδικασία βύθισης.