An apparatus for processing flat media, such as semiconductor wafers, has a rotor including positions for first and second cassettes. The cassettes are restrained within the rotor by support tubes and hold down pins. The processing capacity of the apparatus is increased, as the apparatus can hold two cassettes.

Um instrumento para meios lisos processando, tais como wafers de semicondutor, tem um rotor including posições para primeiramente e segundas gavetas. As gavetas são contidas dentro do rotor pelos tubos da sustentação e mantêm abaixados os pinos. A capacidade processando do instrumento é aumentada, porque o instrumento pode prender duas gavetas.

 
Web www.patentalert.com

< Lift and rotate assembly for use in a workpiece processing station and a method of attaching the same

< Automated semiconductor immersion processing system

> Reactor for processing a semiconductor wafer

> Semiconductor processing apparatus having linear conveyer system

~ 00039