An apparatus for processing flat media, such as semiconductor wafers, has a
rotor including positions for first and second cassettes. The cassettes
are restrained within the rotor by support tubes and hold down pins. The
processing capacity of the apparatus is increased, as the apparatus can
hold two cassettes.
Um instrumento para meios lisos processando, tais como wafers de semicondutor, tem um rotor including posições para primeiramente e segundas gavetas. As gavetas são contidas dentro do rotor pelos tubos da sustentação e mantêm abaixados os pinos. A capacidade processando do instrumento é aumentada, porque o instrumento pode prender duas gavetas.