A process for making thin-film batteries including the steps of cleaning a
glass or silicon substrate having an amorphous oxide layer several microns
thick; defining with a mask the layer shape when depositing cobalt as an
adhesion layer and platinum as a current collector; using the same mask as
the preceding step to sputter a layer of LiCoO.sub.2 on the structure
while rocking it back and forth; heating the substrate to 300.degree. C.
for 30 minutes; sputtering with a new mask that defines the necessary
electrolyte area; evaporating lithium metal anodes using an appropriate
shadow mask; and, packaging the cell in a dry-room environment by applying
a continuous bead of epoxy around the active cell areas and resting a
glass slide over the top thereof. The batteries produced by the above
process are disclosed.
Un procédé pour faire les batteries en couche mince comprenant les étapes de nettoyer un substrat en verre ou de silicium ayant une couche amorphe d'oxyde plusieurs microns épais ; définissant avec un masque la forme de couche quand le cobalt déposant comme adhérence posent et platine comme collecteur de courant ; en utilisant le même masque que l'étape précédente pour pulvériser une couche de LiCoO.sub.2 sur la structure tout en la basculant dans les deux sens ; chauffage du substrat à 300.degree. C. pendant 30 minutes ; pulvérisation avec un nouveau masque qui définit le secteur nécessaire d'électrolyte ; anodes d'évaporation en métal de lithium en utilisant un masque approprié d'ombre ; et, empaquetant la cellule dans un environnement de sec-pièce en appliquant une perle continue d'époxyde autour des secteurs actifs de cellules et en reposant une plaque en verre au-dessus du dessus en. Les batteries produites par le processus ci-dessus sont révélées.