A deaerating apparatus for removing a gas from a liquid, including a liquid
container rotatable and storing the liquid from which the gas is to be
removed, a rotating device for rotating the liquid container, a sucking
device for absorbing the gas from the liquid container; a feed-out device
for feeding out the liquid stored in the liquid container, a liquid
introducing pipe for introducing the liquid into the liquid container, a
gas exhausting pipe for exhausting the gas from the liquid container, a
liquid feed-out pipe for feeding out the liquid from the liquid container,
and a head member which is removably placed on the liquid container, with
the head member in contact with the liquid container. With the head member
separated a predetermined interval from the liquid container, the liquid
container is rotated to collect the gas contained in the liquid to the
center of the liquid container. Then, the gas in the liquid container is
absorbed, with the liquid container semi-closed. In this manner, the gas
contained in a liquid such as a resist solution, a developing solution,
and a solvent can be removed sufficiently.
Um instrumento desareando para remover um gás de um líquido, including um recipiente líquido rotatable e armazenar o líquido de que o gás deve ser removido, um dispositivo girando para girar o recipiente líquido, um dispositivo sugando para absorver o gás do recipiente líquido; um dispositivo da expulsão para alimentar para fora do líquido armazenado no recipiente líquido, em uma tubulação introduzindo líquida para introduzir o líquido no recipiente líquido, em uma tubulação esgotando do gás para esgotar o gás do recipiente líquido, em uma tubulação líquida da expulsão para alimentar para fora do líquido do recipiente líquido, e em um membro principal que seja colocado removìvel no recipiente líquido, com o membro principal no contato com o recipiente líquido. Com o membro da cabeça separado um intervalo predeterminado do recipiente líquido, o recipiente líquido é girado para coletar o gás contido no líquido ao centro do recipiente líquido. Então, o gás no recipiente líquido é absorvido, com o recipiente líquido semi-semi-closed. Nesta maneira, o gás contido em um líquido tal como uma solução resistir, uma solução tornando-se, e um solvente pode ser removido suficientemente.
