A single slot valve shaft is in a vacuum body between adjacent vacuum chambers, such as a process module and a transport module. Separate valves are provided on the single shaft actuator for each of two valve body slots, each body slot being closed or opened according to the position of the single shaft. The separate valves allow a vacuum condition to be maintained in the transport module while an adjacent process module is open to the atmosphere for servicing. The single shaft allows access to an open valve for servicing the open valve by way of stops that limit drive travel and hold the valve in an open, but not vertically-spaced, position relative to a respective slot. The open valve is easily reached by a gloved hand of a service worker. The single shaft is mounted on a first cradle, and the first cradle is mounted on a second cradle. Two separate shaft drives move the two cradles to position the single shaft to locate the valves between the slots to open one slot and close the other slot. Another separate shaft drive moves the single shaft vertically down from the open position and away from the slots to expose seal surfaces around the slots for cleaning.

Één enkele schacht van de groefklep is in een vacuümlichaam tussen aangrenzende vacuümkamers, zoals een procesmodule en een vervoermodule. De afzonderlijke kleppen worden verstrekt op enige schachtactuator voor elk van twee groeven van het kleplichaam, elke lichaamsgroef die volgens de positie van de enige schacht wordt gesloten of wordt geopend. De afzonderlijke kleppen laten een vacuümvoorwaarde toe om in de vervoermodule worden gehandhaafd terwijl een aangrenzende procesmodule aan de atmosfeer voor het onderhouden open is. De enige schacht verleent toegang tot een open klep voor het onderhouden van de open klep als einden die aandrijvingsreis beperken en de klep in open houden, maar niet verticaal-uit elkaar geplaatst, positie met betrekking tot een respectieve groef. De open klep wordt gemakkelijk bereikt door een gloved hand van een de dienstarbeider. De enige schacht wordt opgezet op een eerste wieg, en de eerste wieg wordt opgezet op een tweede wieg. Twee afzonderlijke schachtaandrijving beweegt de twee wiegen om de enige schacht te plaatsen om van de kleppen tussen de groeven de plaats te bepalen om één groef te openen en de andere groef te sluiten. Een andere afzonderlijke schachtaandrijving beweegt neer de enige schacht verticaal van de open positie en vanaf de groeven om verbindingsoppervlakten rond de groeven bloot te stellen voor het schoonmaken.