A new approach toward MEMS quality control and materials characterization is provided by a combined test structure measurement and mechanical response modeling approach. Simple test structures are cofabricated with the MEMS devices being produced. These test structures are designed to isolate certain types of physical response, so that measurement of their behavior under applied stress can be easily interpreted as quality control and material properties information.

Новыйа подход к качественному контролу MEMS и характеризации материалов обеспечен совмещенным измерением структуры испытания и механически реакцией моделируя подход. Просто структуры испытания cofabricated при будучи произведенными приспособления MEMS. Эти структуры испытания конструированы для того чтобы изолировать некоторые типы физической реакции, так, что измерение их поведения под applied усилием можно легко интерпретировать как данные по свойств качественного контрола и материала.