Using an imaging system, an optical MEMS devices is imaged so that in combination with an actual one or more other optical MEMS devices, or images thereof, a single virtual optical MEMS device is formed that has the size of each of the optical MEMS devices combined. The physical size of the arrangement may be reduced by compacting the optical path, e.g., using appropriate conventional mirrors, and/or employing folded arrangements, i.e., arrangements in which there is only one MEMS device stage that does double duty for both input and output through the use of at least one conventional mirror. The imaging system may reproduce the angle of reflection of the light from the micro mirror, e.g., using a telecentric system. A prism may be employed to align the various optical MEMS devices, or images thereof.

Χρησιμοποιώντας ένα σύστημα απεικόνισης, συσκευές ένα οι οπτικές MEMS είναι imaged έτσι ώστε σε συνδυασμό με έναν πραγματικό μια ή περισσότερες άλλες οπτικές συσκευές MEMS, ή τις εικόνες επ' αυτού, μια ενιαία εικονική οπτική συσκευή MEMS διαμορφώνονται που έχει το μέγεθος κάθε μια από τις οπτικές συσκευές MEMS που συνδυάζονται. Το φυσικό μέγεθος της ρύθμισης μπορεί να μειωθεί με τη συμπίεση της οπτικής πορείας, π.χ., χρησιμοποιώντας τους κατάλληλους συμβατικούς καθρέφτες, ή/και υιοθετώντας τις διπλωμένες ρυθμίσεις, δηλ., ρυθμίσεις στις οποίες υπάρχει μόνο ένα στάδιο συσκευών MEMS που διπλασιάζει το καθήκον και για την εισαγωγή και για την παραγωγή μέσω της χρήσης τουλάχιστον ενός συμβατικού καθρέφτη. Το σύστημα απεικόνισης μπορεί να αναπαραγάγει τη γωνία της αντανάκλασης του φωτός από τον καθρέφτη μικροϋπολογιστών, π.χ., χρησιμοποιώντας ένα telecentric σύστημα. Ένα πρίσμα μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να ευθυγραμμίσει τις διάφορες οπτικές συσκευές MEMS, ή τις εικόνες επ' αυτού.