A two-component porous material including small silicalite crystals in a
porous binder provides a low dielectric constant material useful as an
insulating layer in microelectronic devices. The silicalite/binder porous
material uses silicalite nanocrystals smaller than the characteristic
dimensions of the features on the integrated circuit device. The binder is
an amorphous porous material that links the silicalite nanocrystals
together, formed from a precursor which polymerizes on heating. The
silicalite nanocrystals are supplied as a colloidal suspension or slurry.
The slurry and binder precursor are spincoated onto a substrate and
thermally treated to polymerize the binder precursor and drive off solvent
in the slurry, forming the porous silicalite/binder material. The
silicalite/binder porous material is readily integrated into standard
damascene fabrication processes.
Un materiale poroso del due-componente compreso i piccoli cristalli del silicalite in un raccoglitore poroso fornisce un utile materiale basso di costante dielettrico come strato isolante in dispositivi microelettronici. Il materiale poroso di silicalite/binder usa i nanocrystals del silicalite più piccoli delle dimensioni caratteristiche delle caratteristiche sul dispositivo del circuito integrato. Il raccoglitore è un materiale poroso amorfo che collega insieme i nanocrystals del silicalite, formato da un precursore che si polimerizza sul heating. I nanocrystals del silicalite sono forniti come una sospensione o residui colloidali. Il precursore del raccoglitore e dei residui è spincoated su un substrato e termicamente ha trattato per polimerizzare il precursore del raccoglitore e per spingere il solvente nei residui, formanti il materiale poroso di silicalite/binder. Il materiale poroso di silicalite/binder è integrato prontamente nei processi damascene standard di montaggio.
