A III-V compound light emitter is integrated with Si-based actuators. The proposed devices take advantage of the superior optical properties of III-V compounds and the superior mechanical properties of Si, as well as mature fabrication technologies of Si-Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). The emitter can be a light emitting diode (LED), a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) or an edge emitting laser. Electro or magnetic based actuation from Si-based actuators provides

Un emettitore chiaro compound di III-V è integrato con gli azionatori Silicone-basati. I dispositivi proposti approfittano delle proprietà ottiche superiori dei residui di III-V e delle proprietà meccaniche superiori di silicone, così come le tecnologie mature di montaggio dei sistemi Silicone-Micro-Elettrotipia-Meccanici (MEMS). L'emettitore può essere un diodo luminescente (LED), un laser d'emissione di superficie della cavità verticale (VCSEL) o un bordo che emette il laser. L'elettrotipia o l'attuazione basata magnetica dagli azionatori Silicone-basati fornisce