A loader includes a receiving section for receiving a FOUP (front opening unified pod), an opener for transporting substrates out of the FOUP, and a transport robot for transporting the FOUP between the receiving section and the opener. When the opener transports the substrates out of the FOUP, the FOUP is placed on a holding table. The holding table is formed with a notch permitting a transport arm of the transport robot to pass through vertically. Thus, the downward passage of the transport arm with the FOUP held thereon through the notch allows the direct transfer of the FOUP from the transport arm to the holding table. This reduces the time required for the FOUP transfer operation, to provide a high throughput, thereby providing a substrate transfer apparatus capable of achieving a high throughput.

Ένας φορτωτής περιλαμβάνει ένα λαμβάνον τμήμα της λήψης ενός FOUP (το μπροστινό άνοιγμα ενοποίησε το λοβό), ενός ανοιχτηριού για τη μεταφορά των υποστρωμάτων από το FOUP, και ενός ρομπότ μεταφορών για τη μεταφορά του FOUP μεταξύ του λαμβάνοντος τμήματος και του ανοιχτηριού. Όταν το ανοιχτήρι μετέφερε τα υποστρώματα από το FOUP, το FOUP τοποθετείται σε έναν πίνακα εκμετάλλευσης. Ο πίνακας εκμετάλλευσης διαμορφώνεται με μια εγκοπή επιτρέποντας σε έναν βραχίονα μεταφορών του ρομπότ μεταφορών για να περάσει μέσω κάθετα. Κατά συνέπεια, η προς τα κάτω μετάβαση του βραχίονα μεταφορών με το FOUP που κρατιέται επ'αυτού μέσω της εγκοπής επιτρέπει την άμεση μεταφορά του FOUP από το βραχίονα μεταφορών στον πίνακα εκμετάλλευσης. Αυτό μειώνει το χρόνο που απαιτείται για τη λειτουργία μεταφοράς FOUP, για να παρέχει μια υψηλή ρυθμοαπόδοση, με αυτόν τον τρόπο παρέχοντας μια συσκευή μεταφοράς υποστρωμάτων ικανή μια υψηλή ρυθμοαπόδοση.