A method is presented for fabricating an electrically isolated MEMS device having a conductive outer MEMS element, and an inner movable MEMS element spaced apart from the conductive outer MEMS element. The inner element includes a nonconductive base having a plurality of conductive structures extending therefrom. The conductive components are formed by plating a conductive material into a pre-formed mold which defines the shape of the conductor.

Une méthode est présentée pour fabriquer un dispositif électriquement d'isolement de MEMS ayant un élément externe conducteur de MEMS, et un élément intérieur du mobilier amovible MEMS est espacé indépendamment de l'élément externe conducteur de MEMS. L'élément intérieur inclut une base non-conductrice ayant une pluralité de structures conductrices se prolongeant de là. Les composants conducteurs sont constitués en plaquant un matériel conducteur dans un moule préformé qui définit la forme du conducteur.