In accordance with the invention, the component layer, the spacer and the actuator layer of a MEMs device are assembled at ambient temperature and held together in lateral alignment by upper and lower magnets. Such ambient temperature magnetic packaging greatly minimizes the undesirable exposure of the sensitive MEMs components to high temperatures. The resulting MEMs device exhibits the high dimensional accuracy and stability. In a preferred embodiment, the component layer comprises a layer of movable mirrors and a spacer aerodynamically and electrostatically isolates each mirror, minimizing cross-talk between adjacent mirrors.

Secondo l'invenzione, lo strato componente, il distanziatore e lo strato dell'azionatore di un dispositivo di MEMs sono montati alla temperatura ambientale e sono tenuti insieme nell'allineamento laterale dai magneti superiori e più bassi. Tale imballaggio magnetico di temperatura ambientale notevolmente minimizza l'esposizione indesiderabile dei componenti sensibili di MEMs alle alte temperature. Il dispositivo risultante di MEMs esibisce l'alte esattezza e stabilità dimensionali. In un metodo di realizzazione preferito, lo strato componente contiene uno strato gli specchi mobili e un distanziatore aerodinamicamente ed elettrostaticamente isola ogni specchio, minimizzante la diafonia fra gli specchi adiacenti.