An apparatus for growing a silicon ingot including a graphite crucible in
which a quartz crucible is placed, a driving axis connected to a lower
part of the graphite crucible to revolve and move the graphite crucible up
and down so as to support the graphite crucible, a heating element to heat
the graphite crucible, and an insulating wall to protect and thermally
isolate the graphite crucible, heating means, and driving axis in part
from the external environment. The driving axis includes a hollow axis
part having a hollow inside, an insulating axis part attached to the
bottom of the hollow axis part to inhibit heat transfer, and a cylindrical
axis part attached to the bottom of the insulating axis part. The
construction of the driving axis reduces a temperature gradient in the
molten silicon, improving uniform heat distribution for increased silicon
ingot quality.
Ein Apparat für das Wachsen eines Silikonbarrens einschließlich einen Graphittiegel, in dem ein Quarztiegel gelegt wird, eine treibende Mittellinie angeschlossen an ein unteres Teil des Graphittiegels, um den Graphittiegel auf und ab zu rotieren und zu verschieben, um den Graphittiegel zu stützen, ein Heizelement, um den Graphittiegel zu heizen und eine isolierende Wand, um den Graphittiegel, die heizenden Mittel und das Fahren von von Mittellinie im Teil vom externen Klima zu schützen und thermisch zu lokalisieren. Die treibende Mittellinie schließt ein hohles Mittellinie Teil ein, das eine Höhle nach innen haben, ein isolierendes Mittellinie Teil, das zur Unterseite des hohlen Mittellinie Teils angebracht werden, um Wärmeübertragung zu hemmen, und ein zylinderförmiges Mittellinie Teil, das zur Unterseite des isolierenden Mittellinie Teils angebracht wird. Der Aufbau der treibenden Mittellinie verringert eine Temperatursteigung im flüssigen Silikon und verbessert konstante Hitzeverteilung für erhöhte Silikonbarrenqualität.