One aspect of the invention provides a method for fabricating a microelectromechanical systems device. The method comprises fabricating an array of first elements, each first element conforming to a first geometry; fabricating at least one array of second elements, each second element conforming to a second geometry; wherein fabricating the arrays comprises selecting a defining aspect of each of the first and second geometries based on a defining characteristic of each of the first and second elements; and normalizing differences in an actuation voltage required to actuate each of the first and second elements, wherein the differences are as a result of the selected defining aspect, the defining characteristic of each of the elements being unchanged.

Один аспект вымысла обеспечивает метод для изготовлять microelectromechanical приспособление систем. Метод состоит из изготовлять блок первых элементов, каждый первый элемент conforming to первая геометрия; изготовлять по крайней мере один блок вторых элементов, каждый второй элемент conforming to вторая геометрия; при котором изготовлять блоки состоит из выбирать определяя аспект каждого из первых и вторых geometries основанных на определяя характеристике каждого из первых и вторых элементов; и нормализующ разницы в напряжении тока возбуждения требуемом, что сработать каждый из первых и вторых элементов, при котором разницы в результате выбранного определяя аспекта, определяя характеристика каждого из природная стихия стихия неизменн.