A chuck assembly for engaging the inner surface of a hollow substrate
including: (a) a body defining a hole, wherein the hole is positioned to
be in communication with the air inside the substrate; and (b) a gas
pressure regulating apparatus coupled to the hole for regulating the gas
pressure inside the substrate.
Un montaje de la tirada para contratar la superficie interna de un substrato hueco incluyendo: (a) un cuerpo que define un agujero, en donde el agujero se coloca para estar en la comunicación con el aire dentro del substrato; y (b) un aparato de regulación de la presión de gas juntado al agujero para regular la presión de gas dentro del substrato.