A capacitance type humidity detecting sensor has two electrodes opposing each other with a gap interposed therebetween to form a capacitor on a silicon substrate with a silicon oxide film formed on a surface thereof. A moisture-sensitive film is formed so as to cover the two electrodes with a silicon nitride film interposed therebetween. The silicon nitride film protects the two electrodes from moisture passing through the moisture-sensitive film. The capacitance formed between the two electrodes changes in accordance with ambient humidity. A switched capacitor circuit formed in a circuit element portion processes a signal indicative of a change in the capacitance formed between the two electrodes.

Un tipo umidità di capacità che rileva il sensore ha due elettrodi opporrsi con uno spacco interposto therebetween per formare un condensatore su un substrato del silicone con una pellicola dell'ossido del silicone formata su una superficie di ciò. Una pellicola umidità-sensibile è formata in modo da coprire i due elettrodi di pellicola del nitruro di silicio interposta therebetween. La pellicola del nitruro di silicio protegge i due elettrodi da umidità che passa attraverso la pellicola umidità-sensibile. La capacità ha formato fra i due cambiamenti degli elettrodi in conformità con umidità ambientale. Un circuito commutato del condensatore ha formato nei processi che della parte dell'elemento del circuito un segnale indicativo di un cambiamento nella capacità ha formato fra i due elettrodi.