A protective layer includes a polymerized region, which forms a cavity in
an interior surface of the protective layer. The protective layer is
mounted to a micromachine chip such that an active area of the
micromachine chip is located within the cavity of the protective layer.
The protective layer protects the active area during front-side or
back-side singulation of the micromachine chip from a micromachine
substrate.
Uno strato protettivo include una regione polimerizzata, che forma una cavità in una superficie interna dello strato protettivo. Lo strato protettivo è montato ad un circuito integrato di micromachine tali che una zona attiva del circuito integrato di micromachine è situata all'interno della cavità dello strato protettivo. Lo strato protettivo protegge la zona attiva durante il singulation del dorso o del anteriore-lato del circuito integrato di micromachine da un substrato di micromachine.