A gas shield assembly for protecting an exposed surface of an injector in a chemical vapor deposition system. The shield assembly includes a back wall which supports perforated sheets to define a plenum. The sheets are held in place by endcaps. A conduit delivers gas to the plenum. The conduit includes a stretch extending along the back wall and has a bend adjacent the ends of the back wall. The conduit includes perforations along the stretch and at the bends to provide substantially uniform flow of gas into the plenum and the ends.

Um conjunto do protetor do gás para proteger uma superfície exposta de um injector em um sistema de deposition de vapor químico. O conjunto do protetor inclui uma parede traseira que suporte folhas perfuradas para definir um forro. As folhas são mantidas no lugar por endcaps. Uma canalização entrega o gás ao forro. A canalização inclui um estiramento que estende ao longo da parede traseira e tem uma curvatura adjacente as extremidades da parede traseira. A canalização inclui perfurações ao longo do estiramento e nas curvaturas para fornecer o fluxo substancialmente uniforme do gás no forro e nas extremidades.