Disclosed are methods and apparatus for generating a test recipe for a metrology tool is disclosed. A plurality of first reference images that are designed to be used to fabricate a plurality of structures on a sample are provided. Each structure is imageable to form a plurality of target image patterns. A test recipe for use by a metrology tool in locating the structures on the sample is generated or modified. Generating or modifying the test recipe includes forming a plurality of second references images from the first reference images and associating the second reference images with the test recipe. The second reference images are formed to at least partially simulate one or more process effect(s) associated with fabricating the structures of the sample. Additionally, the second reference images may also be formed to simulate one or more imaging effects.

Onthuld worden de methodes en het apparaat om een testrecept voor wordt een metrologiehulpmiddel te produceren onthuld. Een meerderheid van eerste verwijzingsbeelden die worden ontworpen worden gebruikt om een meerderheid van structuren op een steekproef te vervaardigen wordt verstrekt. Elke structuur is imageable om een meerderheid van de patronen van het doelbeeld te vormen. Een testrecept voor gebruik door een metrologiehulpmiddel in wordt de plaatsbepaling van de structuren op de steekproef geproduceerd of gewijzigd. Het produceren van of het wijzigen van het testrecept omvat het vormen van een meerderheid van tweede verwijzingenbeelden van de eerste verwijzingsbeelden en het associëren van de tweede verwijzingsbeelden met het testrecept. De tweede verwijzingsbeelden worden gevormd om één of meer gedeeltelijk minstens te simuleren proceseffect (s) verbonden aan het vervaardigen van de structuren van de steekproef. Bovendien, kunnen de tweede verwijzingsbeelden ook worden gevormd om één of meerdere weergavegevolgen te simuleren.