The present invention relates to a method for producing a composited particle in which an inorganic particle is not released, a composited particle produced by this method, and an aqueous dispersion for CMP containing this composited particle. The method for producing a composited particle of the present invention comprises forming a preliminary particle by adhering one or more types of inorganic particles on at least a part of the surface area of a polymer particle, then, polycondensing at least one selected from among organosilicon compounds and organometal compounds in the presence of the above-mentioned preliminary particle.

De onderhavige uitvinding heeft op een methode om a betrekking te produceren composited deeltje waarin een anorganisch deeltje niet wordt vrijgegeven, composited a met deze methode geproduceerd deeltje, en een waterige verspreiding die voor CMP dit bevat composited deeltje. De methode om a te produceren composited deeltje van de onderhavige uitvinding bestaat uit het vormen van een inleidend deeltje door aanhangend één of meerdere types van anorganische deeltjes op minstens een deel van de oppervlakte van een polymeerdeeltje, dan, polycondensing minstens één geselecteerd van onder organosilicon samenstellingen en organometaalsamenstellingen in aanwezigheid van het bovengenoemde inleidende deeltje.