A MEMs microactuator can be positioned in an interior region of a frame having at least one opening therein, wherein the frame expands in response to a change in temperature of the frame. A load outside the frame can be coupled to the microactuator through the at least one opening. The microactuator moves relative to the frame in response to the change in temperature to remain substantially stationary relative to the substrate. Other MEMs structures, such as latches that can engage and hold the load in position, can be located outside the frame. Accordingly, in comparison to some conventional structures, temperature compensated microactuators according to the present invention can be made more compact by having the interior region of the frame free of other MEMs structures such as latches.

Um microactuator de MEMs pode ser posicionado em uma região interior de um frame que tem ao menos um abrir nisso, wherein o frame expande em resposta a uma mudança na temperatura do frame. Uma carga fora do frame pode ser acoplada ao microactuator com ao menos que abre. O microactuator move-se relativo ao frame em resposta à mudança na temperatura para remanescer substancialmente estacionário relativo à carcaça. Outras estruturas de MEMs, tais como as travas que podem acoplar e prendem a carga em posição, podem ser ficadas situadas fora do frame. Conformemente, na comparação com algumas estruturas convencionais, os microactuators compensados temperatura de acordo com a invenção atual podem ser feitos mais compactos tendo a região interior do frame livre de outras estruturas de MEMs tais como travas.