An antistatic pellicle for use with deep-ultraviolet light. The pellicle is coated with a thin metal oxide layer that has high transmissivity for deep-ultraviolet light and an electrical resistivity low enough to minimize electrostatic discharge. The metal oxide layer may be produced by a sol-gel process using a reactive polyvalent metal sol-precursor. The sol-precursor is converted to a sol, the sol is applied to a membrane so that it produces a gel on a surface of the membrane, and then the gel is dried to a coating.

Ein antistatisches pellicle für Gebrauch mit tief-ultraviolettem Licht. Das pellicle wird mit einer dünnen Metalloxidschicht beschichtet, die die hohe Transmissivität für tief-ultraviolettes Licht und eine elektrische Widerstandskraft niedrig genug, zum der elektrostatischen Entladung herabzusetzen hat. Die Metalloxidschicht kann durch einen Solenoid-Gel Prozeß mit einem reagierenden vielwertigen MetallSolenoid-vorläufer produziert werden. Der Solenoid-Vorläufer wird in ein Solenoid umgewandelt, wird das Solenoid auf eine Membrane zugetroffen, damit sie ein Gel auf einer Oberfläche der Membrane produziert, und dann wird das Gel zu einer Schicht getrocknet.