The present invention is an edge grip aligner with buffering capabilities
and a method for increasing the throughput of wafers through the device.
According to one embodiment, the present invention has first and second
buffer arms, and a chuck arm. A workpiece can be aligned while supported
on the chuck arm. Once the workpiece is aligned, the chuck arm transfers
the workpiece to the buffer arms so that a second workpiece can be aligned
on the chuck arm. While the second workpiece is being aligned, an end
effector can transfer the first workpiece away from the buffer arms and
retrieve another workpiece to place upon the chuck arm.
La presente invenzione è un aligner della presa del bordo con le possibilità di buffering e un metodo per l'aumento del rendimento delle cialde tramite il dispositivo. Conciliandosi ad un incorporamento, la presente invenzione ha in primo luogo e seconda armi dell'amplificatore e un braccio del mandrino. Un pezzo in lavorazione può essere stato allineato mentre sostenuto sul braccio del mandrino. Una volta che il pezzo in lavorazione è stato allineato, il braccio del mandrino trasferisce il pezzo in lavorazione all'armi dell'amplificatore in moda da potere essere allineato un secondo pezzo in lavorazione sul braccio del mandrino. Mentre il secondo pezzo in lavorazione sta essendo allineato, un trasferimento effector della latta dell'estremità il primo pezzo in lavorazione via dall'armi dell'amplificatore e richiama un altro pezzo in lavorazione per disporre sul braccio del mandrino.