The present invention comprises a method and apparatus for classifying edges for implementing mask corrections. In one embodiment, classifications are based upon proximity ranges bounded on one side only. Before classifying an edge in a first class based on a first proximity range, it is verified that the classification will produce a correction satisfying a minimum manufacturable length. If the prescribed correction for the first class does produce a correction satisfying the minimum manufacturable length, the edge is classified in a second class corresponding to a second proximity range to produce, in combination with an adjacent edge also in the second class, a manufacturable correction. The number of mask corrections implemented in a mask design is thus increased while ensuring that all mask corrections meet guidelines for manufacturability and reducing required clean-up of nonmanufacturable corrections in the design.

De onderhavige uitvinding bestaat uit een methode en een apparaat om randen te classificeren voor het uitvoeren van maskercorrecties. In één belichaming, zijn de classificaties gebaseerd op nabijheidswaaiers begrensd aan één slechts kant. Alvorens een rand in een eerste klasse te classificeren die op een eerste nabijheidswaaier wordt gebaseerd, verifiëert men dat de classificatie een correctie veroorzaken zal die een minimum manufacturable lengte tevredenstelt. Als de voorgeschreven correctie voor de eerste klasse een correctie veroorzaakt die de minimum manufacturable lengte tevredenstelt, is de rand geclassificeerd in een tweede klasse die aan een tweede nabijheidswaaier beantwoordt aan opbrengst, in combinatie met een aangrenzende rand ook in de tweede klasse, een manufacturable correctie. Het aantal maskercorrecties die in een maskerontwerp worden uitgevoerd wordt zo verhoogd terwijl het ervoor zorgen dat alle maskercorrecties richtlijnen voor manufacturability en het verminderen van vereiste schoonmaak van nonmanufacturable correcties in het ontwerp ontmoeten.