This invention relates to an excimer laser oscillation apparatus which has a laser chamber which stores a laser gas containing a gas mixture of at least one inert gas selected from the group consisting of Kr, Ar, and Ne, and F.sub.2 gas, and in which an inner surface thereof has a reflection-free surface with respect to light of a desired wavelength of 248 nm, 193 nm, or 157 nm, and the uppermost surface of the inner surface consists of a fluoride, an optical resonator which is made up of a pair of reflection mirrors arranged to sandwich the laser chamber therebetween, and in which the reflectance of the reflection mirror on the output side is 90% or more and microwave introduction means, arranged on the laser chamber, for continuously exciting the laser gas in the laser chamber.

Этот вымысел относит к прибору колебания лазера excimer имеет камеру лазера хранят газ лазера содержа газовую смесь по крайней мере одного инертного газа выбранного от группы consist of kr, Ar, и ne, и газ F.sub.2, и в внутренняя поверхность thereof имеет reflection-free поверхность по отношению к свету заданной длины волны 248 nm, 193 nm, или 157 nm, и uppermost поверхность внутренней поверхности состоят фторида, оптически резонатора который сделаны вверх пары зеркал отражения аранжированные, что прослоили камеру лазера therebetween, и в отражение зеркала отражения на стороной выхода будет 90% или больше и серединами введения микроволны, аранжированными на камере лазера, для непрерывно возбуждать газ лазера в камере лазера.