An apparatus for supercritical processing and non-supercritical processing of a workpiece comprises a transfer module, a supercritical processing module, a non-supercritical processing module, and a robot. The transfer module includes an entrance. The supercritical processing module and the non-supercritical processing module are coupled to the transfer module. The robot is preferably located within the transfer module. In operation, the robot transfers a workpiece from the entrance of the transfer module to the supercritical processing module. After supercritical processing, the robot then transfers workpiece from the supercritical processing module to the non-supercritical processing module. After the non-supercritical processing, the robot returns the workpiece to the entrance of the transfer module. Alternatively, the non-supercritical processing is performed before the supercritical processing.

Een apparaat voor overkritische verwerking en niet overkritische verwerking van een werkstuk bestaat uit een transfermodule, uit een overkritische verwerkingsmodule, uit een niet overkritische verwerkingsmodule, en uit een robot. De transfermodule omvat een ingang. De overkritische verwerkingsmodule en de niet overkritische verwerkingsmodule worden gekoppeld aan de transfermodule. De robot wordt bij voorkeur gevestigd binnen de transfermodule. In verrichting, brengt de robot een werkstuk van de ingang van de transfermodule aan de overkritische verwerkingsmodule over. Na overkritische verwerking, brengt de robot dan werkstuk van de overkritische verwerkingsmodule aan over de niet overkritische verwerkingsmodule. Na de niet overkritische verwerking, komt de robot het werkstuk op de ingang van de transfermodule terug. Alternatief, wordt de niet overkritische verwerking uitgevoerd vóór de overkritische verwerking.