Disclosed is a high-sensitivity flexible ceramic sensor for detecting mechanical shocks and vibrations, which comprises a metal foil of a specified thickness as a substrate, a single-crystalline thin film of a piezoelectric ceramic material such as aluminum nitride and zinc oxide having a specified thickness formed on the substrate, a metallic electrode formed on the thin ceramic film and an external circuit connecting the metal foil and the electrode with insertion of an electric meter for measuring the piezoelectric voltage changes induced in the ceramic thin film.

Gegeben ein Hochempfindlichkeit flexibler keramischer Sensor für das Ermitteln der mechanischen Schläge und der Erschütterungen frei, das eine Metallfolie von einer spezifizierten Stärke als Substrat, einzeln-kristallener Dünnfilm eines piezoelektrischen keramischen Materials wie Aluminiumnitrid- und Zinkoxid enthält, das eine spezifizierte Stärke hat, die auf dem Substrat gebildet wird, metallische Elektrode, die auf dem dünnen keramischen Film und einem externen Stromkreis anschließt die Metallfolie gebildet werden und die Elektrode mit Einfügung eines elektrischen Meßinstruments für das Messen der piezoelektrischen Spannung Änderungen, die im keramischen Dünnfilm verursacht werden.