The present invention provides systems and methods for self-calibrated measurements, for example temperature sensing. The system includes a controller, a multiplexer of low on-resistance, at least two calibration reference resistors, and a current-to-frequency converter that performs self-calibrated temperature sensing with temperature sensing devices such as resistance temperature detectors (RTDs). In general, the system provides a self-calibrated temperature sensing by the current-to-frequency converter providing a constant voltage sequentially to at least two calibration resistors and one or more RTDs using switches of low on-resistance in the multiplexer, which is controlled by the controller. The value of one of the reference resistors provided is correlate to the resistive value of the RTD at the minimum temperature of the operating temperature range for the processing equipment to be monitored, the value of another reference resistor provided is correlate to the resistive value of the RTD at the maximum temperature of the operating temperature range for the processing equipment, and the values of the remaining reference resistors, if provided, may correlate to the resistive values of the RTD at selected intermediate temperatures within the temperature range for the processing equipment. The frequency output by the current-to-frequency converter varies directly with current variation and thus inversely with the resistance of the individual calibration resistor or RTD. The controller determines-composite resistance for the calibration resistors and RTDs inclusive of the other component connecting the calibration resistors and RTDs to the current-to-frequency converter, from the frequencies output by the current-to-frequency converter. A calculation is performed using these resistances to determine an accurate self-calibrated temperature for the RTDs and the equipment to which it is associated. Further, the present invention provides the measurement system may be constructed so as to provide self-calibrated temperature measurements of one or more locations in a processing chamber which may operate within different temperature ranges or to provide self-calibrated temperature measurements of one or more a processing chambers. The present invention may also provide even more accurate self-calibrated temperature measurements by utilizing multiple reference resistors so as to provide piecewise linear calibration within the temperature operating range of the processing equipment.

Die anwesende Erfindung stellt Systeme und Methoden für Selbst-kalibrierte Maße, Temperaturz.B. abfragen zur Verfügung. Das System schließt einen Steuerpult, einen Mehrfachkoppler des niedrigen Aufwiderstandes, mindestens zwei Kalibrierung Bezugswiderstände und einen Gegenwärtig-zufrequenz Konverter mit ein, der die Selbst-kalibrierte Temperatur durchführt, die mit Temperaturabfragung Vorrichtungen wie Widerstand Temperaturdetektoren (RTDs) abfragt. Im allgemeinen stellt das System eine Selbst-kalibrierte Temperatur zur Verfügung, die durch den Gegenwärtig-zufrequenz Konverter abfragt, der der Reihe nach eine konstante Spannung zu mindestens zwei Kalibrierung Widerstände und einem oder mehr RTDs mit Schaltern des niedrigen Aufwiderstandes im Mehrfachkoppler bereitstellt, der durch den Steuerpult gesteuert wird. Der Wert von einem der bereitgestellten worden Bezugswiderstände ist Korrelat zum widerstrebenden Wert des RTD bei der minimalen Temperatur des Betriebstemperaturbereichs, damit die Verarbeitung Ausrüstung überwacht werden kann, ist der Wert eines anderen bereitgestellten worden Bezugswiderstandes Korrelat zum widerstrebenden Wert des RTD bei der maximalen Temperatur des Betriebstemperaturbereichs für die Verarbeitung Ausrüstung, und die Werte der restlichen Bezugswiderstände, wenn, vorausgesetzt, mit den widerstrebenden Werten des RTD bei vorgewählten Zwischentemperaturen innerhalb der Temperaturspanne für die Verarbeitung Ausrüstung aufeinander beziehen kann. Der Frequenzausgang durch den Gegenwärtig-zufrequenz Konverter schwankt direkt mit gegenwärtiger Veränderung und folglich umgekehrt mit dem Widerstand des einzelnen Kalibrierung Widerstandes oder des RTD. Der feststellen-zusammengesetzte Widerstand des Steuerpults für die Kalibrierung Widerstände und das RTDs einschließlich vom anderen Bestandteil, der die Kalibrierung Widerstände anschließt und das RTDs an den Gegenwärtig-zufrequenz Konverter, von den Frequenzen ausgegeben durch den Gegenwärtig-zufrequenz Konverter. Eine Berechnung wird mit diesen Widerständen, eine genaue Selbst-kalibrierte Temperatur für das RTDs und die Ausrüstung festzustellen durchgeführt, zu denen sie verbunden ist. Weiter liefert die anwesende Erfindung das Maßsystem kann konstruiert werden, um Selbst-kalibrierte Temperaturmaße von einer oder mehr Positionen in einem verarbeitenraum zur Verfügung zu stellen, der innerhalb der unterschiedlichen Temperaturspannen funktionieren oder Selbst-kalibrierte Temperaturmaße von einem oder von mehr zur Verfügung stellen kann, die verarbeitenräume sind. Die anwesende Erfindung kann sogar genauere Selbst-kalibrierte Temperaturmaße vom Verwenden der mehrfachen Bezugswiderstände auch zur Verfügung stellen, um stückweise lineare Kalibrierung innerhalb des Betriebsbereiches der Temperatur der Verarbeitung Ausrüstung zur Verfügung zu stellen.