The invention is a method of introducing porous membranes into MEMS elements by supporting the membranes by frames to form an heterostructure. This is achieved by attaching to a structured or porous substrate one or more monolithically fabricated frames and membranes. Having membranes disposed on frames enables them to be batch processed and facilitates separation, handling and mounting within MEMS or nanofluidic systems. Applications include, but are not limited to, filters for gases or liquids, electron transmissive windows and scanning electron microscopy (SEM) accessible arrays of nanotest tubes containing liquid phases and other sample states. The invention includes the apparatus made by the method.

La invención es un método de introducir las membranas porosas en elementos de MEMS apoyando las membranas al lado de los marcos para formar una heteroestructura. Esto es alcanzada uniendo a un substrato estructurado o poroso unos o más marcos y membranas monolítico fabricados. Tener membranas dispuestas en marcos les permite ser hornada procesada y facilita la separación, dirigiendo y montando dentro de MEMS o de sistemas nanofluidic. Los usos incluyen, pero no se limitan a, los filtros para los gases o los líquidos, las ventanas transmissive del electrón y los órdenes accesibles de la microscopia electrónica de la exploración (SEM) de los tubos ma's nanotest que contienen fases líquidas y otros estados de la muestra. La invención incluye el aparato hecho por el método.