A magnetic sensing unit for measuring displacements on a nanometer scale is
provided. A moveable part and a fixed part of a microdevice magnetic
sensing unit comprises a magnetic element having a magnetic field and a
magnetic sensor, the magnetic element being located on the moveable part
and the magnetic sensor on the fixed part, or alternatively, the magnetic
sensor being located on the moveable part and the magnetic element on the
fixed part. The magnetic sensor and/or the magnetic element comprise an
integral part of the microdevice. The magnetic element and the magnetic
sensor are arranged relative to each other such that when the moveable
part is displaced the change of the magnetic field at the magnetic sensor
is detectable by use of the magnetic sensor.
Une unité de sensation magnétique pour des déplacements de mesure sur une échelle de nanomètre est fournie. Une partie mobile et une partie fixe d'une unité de sensation magnétique de microdevice comporte un élément magnétique ayant un champ magnétique et une sonde magnétique, l'élément magnétique étant situé sur la partie mobile et la sonde magnétique sur la partie fixe, ou alternativement, la sonde magnétique étant située sur la partie mobile et l'élément magnétique sur la partie fixe. La sonde magnétique et/ou l'élément magnétique comportent une partie intégrale du microdevice. L'élément magnétique et la sonde magnétique sont arrangés relativement à l'un l'autre tels que quand la partie mobile est déplacée le changement du champ magnétique à la sonde magnétique est discernable au moyen de la sonde magnétique.