A mechanically compliant probe for electrically connecting to contact pads on microelectronic devices. The probe is used for burn-in of integrated circuits at the wafer level. Additional applications include probe cards for testing integrated circuits and sockets for flip-chips. One embodiment of the probe includes a probe tip which is held on an extension arm projecting laterally from an elongated flat spring. The spring is supported above a substrate by posts such that the probe tip moves vertically in response to a contact force on the probe tip. Deflection of the probe tip is compliantly limited by bending and torsional flexure of the sheet spring. Mechanical compliance of the tip allows arrays of the probe to contact pads on integrated circuits where the pads are not precisely planar.

Una punta de prueba mecánicamente obediente para eléctricamente conectar con los cojines del contacto en los dispositivos microelectrónicos. La punta de prueba se utiliza para el marcar a fuego de circuitos integrados en el nivel de la oblea. Los usos adicionales incluyen las tarjetas de la punta de prueba para probar los circuitos integrados y los zócalos para las mover de un tiro'n-virutas. Una encarnación de la punta de prueba incluye una extremidad de la punta de prueba que se lleve a cabo en un brazo de la extensión que proyecta lateralmente a partir de un resorte plano alargado. El resorte es apoyado sobre un substrato por los postes tales que la extremidad de la punta de prueba se mueve verticalmente en respuesta a una fuerza del contacto en la extremidad de la punta de prueba. La desviación de la extremidad de la punta de prueba compliantly es limitada por la flexión y la flexión torsional del resorte de la hoja. La conformidad mecánica de la extremidad permite que los órdenes de la punta de prueba entren en contacto con los cojines en los circuitos integrados donde no están exacto planar los cojines.